英國Raptor Photonics公司的Eagle XO法蘭安裝型高速X射線相機采用CF152(6”)法蘭設計，可以與真空室直接連接。相機采用Teledyne e2v公司的背照式CCD芯片，可實現對真空紫外VUV、軟X射線的直接探測，探測能量范圍覆蓋12eV到20keV。提供不同分辨率相機可選，方便用戶選擇在特殊環(huán)境下進行科研和系統(tǒng)的集成

主要特性

• CF152(6”)法蘭設計，可直接與真空室連接

• 來自Teledyne e2v的背照式CCD芯片

• 可直接探測能量范圍12eV-20keV

• 制冷溫度-80℃，暗電流<0.0005e - /p/s

• 讀出噪聲<2.3e -

• Camera Link接口，易于系統(tǒng)集成和開發(fā)

典型應用

?x射線成像 ?x射線顯微鏡 ?薄膜和納米纖維 ?x射線等離子體診斷 ?全息和光刻

>>X-ray衍射（XRD）

X射線成像及熒光成像(XRF)、X射線衍射成像(XRD)、X射線顯微鏡、共振非彈性X射線散射(RIXS)、VUV/EUV/XUV光譜、薄膜及納米纖維、材料組成及結構、X射線等離子體診斷、全息照相及光刻

>>EUV紫外光刻半導體工業(yè)使用波長從 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已達到光刻技術的界限。認識到這 一限制，該行業(yè)在過去幾年中一直在尋找一種潛在的后繼技術，以生 產小于100nm的特性。半導體工業(yè)研究的下一代光刻技術包括超視 距光刻、X-ray光刻、離子束投影光刻和電子束投影光刻。盡管EUV 光刻技術也有其挑戰(zhàn)，但它經常被使用，因為它保留了上述光刻技術 （波長13.5nm）的外觀和感覺，以及使用了相同的基本設計工具。 因此，直接探測X-ray相機為光刻系統(tǒng)工作中提供了好的診斷 和監(jiān)控手段。

>>XUV、軟X射線及EUV光譜
美國McPherson Instruments公司的251MX平場光譜儀，采用新的120g/mm光柵和EA4710XO-BN相機，可以輕松實現XUV、軟X射線及EUV光譜的測量。

Eagle XO – Open Front X-Ray

Open Front High Energy CCDs with a range of custom options

Introducing a high energy direct X-Ray Open Front version one of the most sensitive CCD cameras in the World. The Eagle XO is available in a range of options including sensor resolution, sensor type, cooling and flange options. This freedom of choice offers cameras to meet your exact needs.

The EAGLE XO camera features:

·       Open front end – CF152 (6”) flange for direct interfacing to vacuum chambers

·       Deep cooled using Thermoelectric cooler (TEC) – Minimize dark current and enable long exposure

·       Choice of resolutions and pixel sizes – Optimizes sensitivity and large field of view imaging

·       Choice of sensor types – Enables ultra sharp image resolution and high dynamic range