英國(guó)Raptor Photonics公司的Eagle XV真空腔內(nèi)X射線相機(jī)是專門為真空特殊工作環(huán)境設(shè)計(jì)的，可以直接放置在真空腔室內(nèi)使用。相機(jī)采用了Teledyne e2v公司的背照式CCD芯片，百分之100的填充因子，可直接探測(cè)從真空紫外（極紫外）到軟X-ray波段（12eV-20keV能量范圍）。

主要特性

·      相機(jī)放置在真空腔室內(nèi)使用

·       來(lái)自Teledyne e2v的背照式CCD芯片

·       可直接探測(cè)能量范圍12eV-20keV

·       制冷溫度-80℃，暗電流<0.0005e - /p/s

·       提供完整真空饋通的解決方案

·       真空度兼容性10 -5 至10 -8 mbar

典型應(yīng)用

?x射線成像  ?x射線顯微鏡 ?薄膜和納米纖維 ?x射線等離子體診斷 ?全息和光刻

>>X-ray衍射（XRD）

X-ray衍射是一種研究物質(zhì)特性的技術(shù)，如大分子、晶體、粉末、 聚合物和纖維。 當(dāng)X-ray穿過(guò)物質(zhì)時(shí)，它們與原子中的電子相互作用，并分散開(kāi) 來(lái)。如果原子是在平面上組織的（即物質(zhì)是結(jié)晶的），并且原子之間 的距離與X-ray的波長(zhǎng)大小相同，則會(huì)發(fā)生構(gòu)造性和破壞性的干涉， 并形成衍射圖案。根據(jù)所研究物質(zhì)的種類，可以使用單色X-ray、粉 紅束（窄帶）X-ray或白束（寬帶）X-ray。

>>EUV紫外光刻

半導(dǎo)體工業(yè)使用波長(zhǎng)從 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已達(dá)到光刻技術(shù)的界限。認(rèn)識(shí)到這 一限制，該行業(yè)在過(guò)去幾年中一直在尋找一種潛在的后繼技術(shù)，以生 產(chǎn)小于100nm的特性。半導(dǎo)體工業(yè)研究的下一代光刻技術(shù)包括超視 距光刻、X-ray光刻、離子束投影光刻和電子束投影光刻。盡管EUV 光刻技術(shù)也有其挑戰(zhàn)，但它經(jīng)常被使用，因?yàn)樗Ａ袅松鲜龉饪碳夹g(shù) （波長(zhǎng)13.5nm）的外觀和感覺(jué)，以及使用了相同的基本設(shè)計(jì)工具。 因此，直接探測(cè)X-ray相機(jī)為光刻系統(tǒng)工作中提供了好的診斷 和監(jiān)控手段。

>>XUV、軟X射線及EUV光譜

美國(guó)McPherson Instruments公司的251MX平場(chǎng)光譜儀，采用新的120g/mm光柵和EA4710XO-BN相機(jī)，可以輕松實(shí)現(xiàn)XUV、軟X射線及EUV光譜的測(cè)量。

Eagle XV – In Vacuum X-Ray

In Vacuum High Energy CCDs with a range of custom options

Introducing a high energy direct X-Ray In Vacuum version one of the most sensitive CCD cameras in the World. The Eagle XV is available in a range of options including sensor resolution, sensor type, cooling and feedthrough options – including trigger, liquid, power and CameraLink. This freedom of choice offers cameras to meet your exact needs.

The EAGLE XV camera features:

·       Choice of sensors, BN-DD and BN – Select the best QE for your application

·       Active / Passive cooling down to -80°C – Minimizing noise with Raptor cooling technology

·       Compact platform for In-Vacuum operation – Ideal for OEM integration with vacuum pressure <= 10^-5 mbar

·       Full range of Accessories – Including vacuum feedthroughs, cables, tubing etc