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sCMOS eBOOK: 更大的像元總是更靈敏嗎?(上)

2021-11-14 23:48:51


sCMOS eBook:更大的像元總是更靈敏嗎?(上)


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有一個普遍的誤解,即有較大像元尺寸的圖像傳感器總是比有較小像元尺寸的圖像傳感器更靈敏,然而情況并非總是如此。為了解釋為什么這是一個誤傳而不是事實,我們最好先看看圖像傳感器的像元大小會如何影響圖像質量,尤其是對由量子效率決定的整體靈敏度的影響。


量子效率

光電檢測器或圖像傳感器的“量子效率”(QE) 描述了入射光子與轉換電荷載流子的比率,該電荷載流子作為信號從設備中被讀出。在 CCD、CMOS 或 sCMOS 相機中,量子效率表示相機將光轉換為電荷的效率,因此它是一個非常好的用來比較此類系統靈敏度的參數。當光或光子落在半導體(例如硅)上時,會產生多種不同機制的損耗。


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圖 1:具有能將光子轉換為電荷載流子的光敏區域且厚度為 d的半導體材料。該圖顯示了當光穿透材料時光子通量會發生什么改變1


圖 1 展示了光子撞擊具有光敏區域的半導體的結果分析。該圖還顯示了一條曲線,該曲線表示光照射到半導體并部分穿過它時的光子通量。正如橙色光子通量曲線所示,它的一部分因為表面反射而損失,因此采用適當的抗反射涂層可以有效地減少這種損失。


在此之后,一部分光子在半導體的光敏區域中被轉換為電荷載流子,而其余部分則被傳輸。在此圖表示的過程中,量子效率可以定義為:

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這里,(1 ? R)為材料表面的反射損失,可以通過適當的涂層來最小化;ζ為部分電子-空穴對(電荷載流子),對光電流有貢獻并且沒有在材料表面復合再結合;(1?e?α?d)被半導體吸收的部分光子通量,因此厚度 d 應該足夠大以增加該部分的貢獻。


由于這些圖像傳感器的基本材料硅的不同吸收特性以及每個圖像傳感器的結構不同,它們的QE光譜也因此而不同。


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圖 2:測量的吸收系數和硅作為太陽能電池材料的滲透深度2


這在圖 2 中進行了說明,該圖顯示了太陽能電池中使用的硅的光譜相關吸收系數(見圖 2 – 藍色曲線)。第二條曲線(見圖 2 – 紅色曲線)描繪了光在硅中的穿透深度,是藍色曲線的倒數,在本情況中,使用的材料很可能沒有增透膜。Green 和 Keevers2 撰寫的這篇論文還測量了硅的光譜相關反射率,這如圖 3 所示,曲線代表上述量子效率方程中的因子 R。


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圖 3:測量的硅反射率——硅作為太陽能電池中使用的材料3


對于相機系統來說,通常會給出整個相機系統的 QE,這包括了非材料相關的損失,如填充因子、窗口和蓋板玻璃的反射等。在數據表中,此參數以百分比的形式給出,因此 50% 的 QE 意味著平均需要兩個光子來生成一個電荷載流子(電子)。


像元大小和填充因子

像元的填充因子(見圖 4)描述了感光面積與像元總面積的比率。圖像傳感器中像元的一部分面積總是被用于晶體管、電線、電容器或寄存器的布置,這是相應圖像傳感器(CCD、CMOS、sCMOS)的像元結構部分;而只有光敏感部分可有助于被檢測到的光轉換為電荷載流子。


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圖 4:具有不同填充因子的像元(藍色區域對應于光敏區域):[a] 填充因子為75 %的像元,[b] 填充因子為50 %的像元和在上方放置微透鏡的[c] 填充因子為50 %的像元。


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圖 5:具有不同填充因子的像元(藍色區域對應于光敏區域)和照射它們的光線(橙色箭頭)的橫截面圖。虛線光線表示該光對信號沒有貢獻:[a]填充因子為75 %的像元,[b] 填充因子為50 %的像元,[c] 在頂部加微透鏡且填充因子為50 %的像元。


如果填充因子太小4,通常通過加微透鏡來提高填充因子。透鏡鏡頭收集照射到像元上的光線,并將光線聚焦到像元的感光區域(見圖 5)。


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表 1:參數之間的關系。


盡管采用微透鏡對于填充因子低于 100% 的像元總是有幫助的,但仍有一些物理和技術上的限制需要考慮。(見表 2)


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表 2:一些限制。


像元尺寸和光學成像

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圖 6:使用基于薄透鏡的簡單光學系統進行的光學成像,其特征在于一些幾何參數:f - 鏡頭焦距,Fo - 物側鏡頭的焦點,Fi - 像側鏡頭的焦點,xo – Fo 和物體之間的距離 = 物距,xi – Fi和 成像之間的距離,Yo - 物體尺寸,Yi – 成像尺寸


圖 6 展示了基于薄透鏡的簡單光學系統的光學成像。在這種情況下,牛頓成像方程是有效的:

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或者使用高斯透鏡方程:

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放大倍數 M 由成像尺寸 Yi 與物體尺寸 Y0 的比率給出:

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尾注:

  1. 圖像靈感來自于Figure 17.1-1, “Fundamentals of Photonics”, B.E.A. Saleh and M.C. Teich, John Wiley & Sons, Inc., 1991.

  2. 數據來自于 Green, M.A. and Keevers, M. “Optical properties of intrinsic silicon at 300 K”, Progress in Photovoltaics, p.189-92, vol.3, no.3; (1995).

  3. 數據來自于 Green, M.A. and Keevers, M. “Optical properties of intrinsic silicon at 300 K”, Progress in Photovoltaics, p.189-92, vol.3, no.3; (1995).

  4. 填充因子可以很小,例如:行間傳輸 的CCD 圖像傳感器的像元,它的 35% 的像元區域用于移位寄存器或CMOS 傳感器的全局快門,其中晶體管和電引線導致 40% 的填充因子。

  5. 對于一些大像元,使用效率較低的微透鏡仍然可能有用,例如,如果透鏡可以防止過多的光落在像元的外圍。


(本文為此章節的第一部分,敬請期待本章節后續內容。)

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【關于PCO】

PCO于1987年誕生于德國,是高端科學級相機和高端工業相機系統的頂級技術和產品提供商,在高靈敏、超低讀出噪聲、高幀速率、相機制冷、廣泛的可選曝光時間范圍、紫外(UV)到近紅外(NIR)感光、超高動態范圍、以及先進的相機用超高速光纖接口10G CLHS FOL (Camera Link HS, Fiber Optical Link)等諸多成像相關之方向,具有獨特的核心技術優勢。PCO現有的產品序列包含最新的高靈敏高性能的sCMOS相機、高畫質高速攝像機、門控增強型sCMOS相機、基于Two-Tap CMOS技術的頻域FLIM相機等。


德國PCO相機和技術可廣泛應用于可見光、紫外光、近紅外光、熒光、弱光和單光子級信號的成像和定量分析,以及時間分辨、熒光壽命分析、高速和超高速成像等。其適用范圍涵蓋物理科學、生命科學、工程、國防、工業以及光電科學、天文學等諸多領域。


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